以 RH 真空精煉爐為例，其核心為機械真空 泵系統，如圖 1 所示。

 PT- 真空壓力變送器；TT- 廢氣溫度變 送器 ；DT- 廢 氣 粉 塵 濃 度檢測儀； FT- 氣水介質流量檢測儀；VTS- 泵體振動檢測儀；M- 電機電流檢測儀； AT- 廢氣分析儀；SOV- 自動閥門；NX- 真空切斷閥。

該系統包括鋼液廢氣冷卻 器、鋼液廢氣除塵器及多級機械泵組。 多級機械泵組由三級羅茨泵和一級螺桿泵v>串聯而成，每級泵由多臺規格相同的單泵并聯而 成。第四級泵采用抽氣能力較強的螺桿泵，以保 證前三級羅茨泵的抽氣速度及穩定的粗真空狀 態建立。由于鋼液精煉過程中的廢氣含高粉塵特 性，因此配置除塵過濾系統來保護各級機械泵， 并在過濾器前端配置廢氣冷卻器以避免高熱氣 體對濾袋及機械泵組的影響。如圖 1 所示，該系 統配置有真空壓力、廢氣溫度、粉塵濃度、氣水介 質流量、廢氣分析、電機電流、泵體振動等在線測 量設備和真空自動切斷閥。